常见的洁净室空气处理方式有两种，分别是MAU+AHU+HEPA（以下简称AHU系统）和MAU+FFU+DC 干盘管（以下简称FFU系统）。

通过对两种方式的比较得出：FFU在净化空调系统中充当了净化循环机组，洁净室的循环风量等于洁净室内FFU的风量总和。洁净室的空气是由 FFU从洁净天花夹层中送进洁净室内，并通过回风夹道将循环空气再送回到天花夹层；循环空气在通过回风夹道时与安装在夹道中的DC干盘管进行热量交换。 

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