微电子行业对传输敏感或腐蚀性介质的高纯、洁净管道系统一般都采用光亮烧钝(BA)、亚电化学抛光(AC)、电化抛光(EP )产品。
光亮烧钝(Bright Annealing)简称BA
在加氢或真空状态高温热处理,一方面消除内部应力,另一方面在管道表面形成一层钝化膜,以改善形态结构,减少能量水平,但不会提高表面粗糙度。
亚电化学抛光(Anodical Cleaning)简称AC
欧洲工厂在BA基础上再进行一道表面处理工艺,即轻度电解抛光工艺,以尽可能地减少表层面积,加厚钝化膜,从而增加耐腐蚀性能、改善表面的形态结构、减少能量水平。经过这种表面处理方式之后的产品虽然没有前面的光亮,但表面质量有了很大的提高,不会产生颗粒,减少表层铁和氧化铁的成分。
电化抛光(Electro-Polished)简称EP
通过电化学抛光,可以极大地提高表面形态及结构,使表层实际面积得到最大程度的减少。表面是一层封闭的、厚厚的氧化铬膜,能量接近合金的正常水平,同时介质数量也会降为最少。
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